第195章 20nm光刻胶出炉（2 / 2）

听到这话，旁边的王大海激动的低声欢呼了一声。

“小树，太牛了，没想到你竟然做出来了，这就是你说的四代光刻机所需要用到的光刻胶吗？”

“没错，不过现在有个问题就是，没办法评估性能！”

虽然周小树明白，这一瓶光刻胶肯定是没问题的。

毕竟自己掌握的系统，按照其中的技术搞出来的东西是不会出现一点偏差的。

但是关键问题是拿不出来实验报告，那就没办法证明它的性能。

而光刻胶的性能测试绝非简单的观察和直觉判断，它需要一套极其复杂而且昂贵的专业设备。

首先是需要在步进式光刻机用于曝光测试，然后用扫描电子显微镜用于高精度测量曝光后图案的分辨率、线边缘粗糙度和侧壁形貌等性能。

这些设备，动辄数千万甚至上亿，而且大多被国外巨头垄断，对龙国严格禁运。

燕京半导体研究所内虽然也有一些设备，可那测试精度最高也就只有200纳米。

根本就测不出来这款光刻胶的极限性能。

周小树沉思了片刻。

很快，他眼中闪过一丝决断。

“如果我没记错的话，汉斯猫的希曼公司那边好像有相关设备，大海哥，你能不能帮我搞到他们那边的送检名单？”

对方一愣：“这……这种东西他们好像不会对外公布吧？”

周小树微微一笑：“我当然知道不会对外公布，所以……”

王大海瞪大眼睛，随后咬牙点点头：“好，我去弄！”

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