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m以下，才能避免热膨胀导致的尺寸偏差，防止灰尘污染和震动影响精度。
加工完之后还要用超精度测量仪器，比如测量精度＜1μm，支持高速扫描和复杂曲面分析的三坐标测量机；定位误差＜±0.5μm/全行程，重复定位精度＜±0.25μm的激光干涉仪。
这些超精密五轴机床，离子束抛光设备，中国暂时都生产不了。
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